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四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪
产品简介
四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪 型号：DP-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另块数字表（以分之几的度）适时监测程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供度为0.05%的恒流源，使测量电流度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的zui大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
2、主机能数
（1）测量范围：
可测电阻率：0.0001～19000Ω•cm
可测方块电阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
输出电流：DC 0.001～100mA 五档连续可调
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各档均低于±0.05%
（3）直流数字电压表：
测量范围：0～199.99mV
灵敏度：10μV
基本误差：±（0.004%读数+0.01%满度）
输出电源：≥1000ΩM
（4）供电电源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用环境：
温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%
无较强的电场干扰，无强光直接照射
（6）重量、体积：
主机重量：7.5kg
体积：365×380×160（单位：mm 长度×宽度×度）
备注：
等级测量时（测电阻率），度<3%
电气测量时（测电阻），度在0.3%以内
备注：
仪器包括：主机台；测试架（包括台面）个；四探针头1个
2.
氟离子浓度计/氟离子检测仪/氟离子测试仪/氟离子计
型号：DP-MP519
| ●符合规范的GLP要求，具有自动校准、自动温度补偿、数据储存、RS232输出、时钟显示和能设置等化能。 |
| ● 有三种不同的测量模式：稳定显示模式；定时测量模式；连续测量模式。 |
| ● 氟电量程: 1～6 pF （10-1 ～10-6 mol/L）。 |
| ● 配置电：氟离子电，参比电和温度电。 |
| ● 可切换四种离子浓度单位：pX、mol/L、mg/L和ppm. |
| ● 仪器带有*的产品序列号。 |
| ● 符合IP54防尘防溅等级，仪表插口有硅胶帽密封保护。 |
| mV | 测量范围 分辨率 准确度 | -1999.9mV ~ 0 ~ 1999.9mV 0.1mV ±0.1% FS |
| 氟离子 | 测量范围 显示单位 准确度 输入电流 输入阻抗 稳定性 温度补偿范围 | 电计：（0.00~9.00）pF；配套：（1.00~7.00）pF pF、mol/L、mg/L、ppm ± 0.01 pF ≤2×10-12 A ≥1×1012 Ω ±0.01 pF/3h （0 ~ 50）℃（自动或手动） |
| 温度 | 测量范围 分辨率 准确度 | -10℃~ 110℃ 0.1℃ 5~ 60℃范围：±0.5℃ 其余范围：±1.0℃ |
| 其他参数 | 数据储存 储存内容 电源 通讯接口 尺寸和重量 质量和安认证 | 600组 测量值编号、测量值、温度值、ATC或MTC状态、测量日期、测量时间 DC9V/300mA RS232 160 × 190 × 70mm/880g ISO9001:2008, CE和CMC |
| 作条件 | 环境温度 环境湿度 IP等级 | 5 ~ 35 ℃ ≤85% IP54 防尘防溅 |
| 1. DP-MP519氟离子浓度计电计 | 1台 |
| 2. F502 型氟离子电 | 1支 |
| 3. 6211－M型参比电 | 1支 |
| 4. DP-MP500型温度电 | 1支 |
| 5. 602型向电架 | 1个 |
| 6. 901型搅拌器 | 1台 |
| 7. B628搅拌珠 | 三粒 |
| 8. 9V电源适配器（仪器使用） | 1个 |
| 9. 6V电源适配器（搅拌器使用） | 1个 |
| 10.RS232通讯电缆 | 1根 |
| 11.DP-MP519通讯软件光盘 | 1张 |
| 12. 说明书 | 1份 |
| 13. 简要操作南 | 1份 |
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